【摘要】 本发明公开了一种高灵敏度风速风向传感器，其包括衬底(1)、绝缘体(2)、分别设在绝缘体(2)表面且相距一定距离的第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)、与绝缘体(2)相连的支撑锚区(5)、与支撑锚区(5)相连的弹性膜(8)、与弹性膜(8)相连的刚性薄板(9)，设置在刚性薄板(9)上的风杆(10)；风杆(10)位于刚性薄板(9)中心，第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)相对刚性薄板(7)中心对称放置，该风向传感器还包括设置在刚性薄板(9)下端且分别与第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)相对设置的第一尖端发射极(6)和第二尖端发射极(7)。本发明具有检测灵敏度高、功耗低、体积小和温漂小等特点。 【专利类型】发明授权 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】214000 江苏省无锡市菱湖大道99号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】新吴区 【申请号】CN201210559401.1 【申请日】2012-12-20 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103048487B 【公开公告日】2014-06-11 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103048487B 【授权公告日】2014-06-11 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01P5/08; G01P13/02; B81C1/00; B81C3/00 【发明人】秦明; 胡世镔; 陈实 【主权项内容】一种高灵敏度风速风向传感器，其特征在于，其包括衬底(1)、设置在衬底(1)表面的绝缘体(2)、分别设在绝缘体(2)表面且相距一定距离的第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)、与绝缘体(2)相连的支撑锚区(5)、与支撑锚区(5)相连的弹性膜(8)、与弹性膜(8)相连的刚性薄板(9)，设置在刚性薄板(9)上的风杆(10)；风杆(10)位于刚性薄板(9)中心，第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)相对刚性薄板(7)中心对称放置，该高灵敏度风速风向传感器还包括设置在刚性薄板(9)下端且分别与第一底部阳极(3)和第二底部阳极(4)相对设置的第一尖端发射极(6)和第二尖端发射极(7)。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省无锡市菱湖大道99号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】4

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