【摘要】 本发明揭示了一种激光干涉测距仪，包括激光器(10)、第一分光器(20)、第二分光器(30)、探测器(50)、参考面(40)、第一反射单元(80)、第一反射组(92)、第二反射组(91)；激光器、第一分光器、第二分光器依次设置；干涉光经第一反射单元反射后进入第一反射组，第一反射组的第一个斜面将光反射后导入第二反射组；光线在这两组反射组之间经多次反射后，最终以正入射的形式入射到被测反射面，经该反射面反射，光沿原路返回，最后经第二分光器与经参考面反射的参考光重合，并经第一分光器反射后，在探测器表面进行干涉。本发明提出的激光干涉测距仪，可通过对周期性变化的已转化成电信号的干涉正弦信号进行数字化处理并通过对信号强度进行细分，使测量灵敏度提高。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡迈福光学科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214200 江苏省无锡市宜兴经济开发区锦程大道11号宜兴创业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】宜兴市 【申请号】CN201210210755.5 【申请日】2012-06-25 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102706282B 【公开公告日】2014-08-20 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102706282B 【授权公告日】2014-08-20 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01B11/02 【发明人】陆惠宗 【主权项内容】1.一种激光干涉测距仪，其特征在于，所述测距仪包括：激光器、第一分光器、第二分光器、探测器、参考面、第一反射单元、第一反射组、第二反射组； 所述激光器、第一分光器、第二分光器依次设置，探测器设置于第一分光器的一侧，接收从第一分光器反射的光；参考面设置于第二分光器的一侧，接收从第二分光器反射的光并反射； 干涉光经第一反射单元反射后进入第一反射组，第一反射组的第一个斜面将光反射后导入第二反射组；光线在这两组反射组之间经多次反射后，最终以正入射的形式入射到被测反射面，经该反射面反射，光沿原路返回，最后经第二分光器与经参考面反射的参考光进行干涉，在探测器表面进行干涉； 第一反射组和第二反射组中的一个与被测物相连，与被测物相连的反射组将随物体的移动而做同样的移动，另一组反射组的位置固定； 当被测物体做上下移动时，测量光线的光程由于物体移动x而产生的位移是2(1+N)x，N是上下棱镜组内配对棱镜的数目；所以该装置将干涉光程增加了2Nx，对应的光强随位移的变化记为： 测量灵敏度提高(1+N)倍；其中，γ是干涉光强的对比度，在0到1之间；λ是激光波长， 是两束干涉光的初始位相差。 【当前权利人】海宁科海光电科技有限公司 【当前专利权人地址】浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双联路128号科研综合楼8楼809室 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】913202825603072892 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】18

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