【摘要】本发明公开一种晶圆测试探针卡，其包括底座、多个焊接位、摆针部、第一探针组及第二探针组，多个焊接位设于底座的特定位置，摆针部设于底座上，第一探针组及第二探针组并排设于连接部上，底座、连接部及并排设置的第一探针组、第二探针组形成三层堆栈
【摘要】 本发明公开了一种具有主轴平衡装置的工具机，包括立柱，主轴箱体和鞍座，鞍座通过垂直导轨在立柱上垂直移动，主轴箱体通过水平导轨在鞍座上水平移动，所述工具机设置有一个主轴平衡装置，所述主轴平衡装置包括一个蓄压器、一个水平油压缸、和一个平衡油压缸，所述蓄压器、水平油压缸、和平衡油压缸通过油压回路连接。本发明可以提高加工质量、降低损坏率、增长使用寿命。 【专利类型】发明申请 【申请人】宜兴市灵人机械有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214200 江苏省无锡市宜兴市周铁镇竺西工业集中区 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】宜兴市 【申请号】CN201210291051.5 【申请日】2012-08-16 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103586731A 【公开公告日】2014-02-19 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】B23Q11/00; B23B19/02 【发明人】陈志明 【主权项内容】一种具有主轴平衡装置的工具机，其特征在于：包括立柱，主轴箱体和鞍座，鞍座通过垂直导轨在立柱上垂直移动，主轴箱体通过水平导轨在鞍座上水平移动，所述工具机设置有一个主轴平衡装置，所述主轴平衡装置包括一个蓄压器、一个水平油压缸、和一个平衡油压缸，所述蓄压器、水平油压缸、和平衡油压缸通过油压回路连接。 【当前权利人】宜兴市灵人机械有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市宜兴市周铁镇竺西工业集中区 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】913202826632572101 【引证次数】7.0 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】7.0
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