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具有热排风机自动控制系统的PECVD设备专利

时间:2026-09-23    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 具有热排风机自动控制系统的PECVD设备,涉及太阳能硅电池片生产设备领域,尤其涉及制作减少硅片表面反射的SiN薄膜设备,包括炉管,炉管的一侧设置舟托装置,舟托装置上设置石墨舟和推拉装置,石墨舟与推拉装置连接,舟托装置的上方间隔设置热排装置,热排装置包括风机电控柜,所述风机电控柜内设置继电器,所述舟托装置上连接感应器,感应器的信号输出端与继电器连接。本发明利用感应器采集信号,在出舟时控制风机开启,排放热量。而当舟臂在PECVD炉管内则不需要排放热量,自动关闭风机,节约能源。 【专利类型】发明申请 【申请人】扬州鑫晶光伏科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225600 江苏省扬州市高邮市天山镇光伏产业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】高邮市 【申请号】CN201210233581.4 【申请日】2012-07-08 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103526188A 【公开公告日】2014-01-22 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/52; C23C16/34; C23C16/44; C23C16/50 【发明人】朱守权 【主权项内容】具有热排风机自动控制系统的PECVD设备,包括炉管,炉管的一侧设置舟托装置,舟托装置上设置石墨舟和推拉装置,石墨舟与推拉装置连接,舟托装置的上方间隔设置热排装置,热排装置包括风机电控柜,其特征在于:所述风机电控柜内设置继电器,所述舟托装置上连接感应器,感应器的信号输出端与继电器连接。 【当前权利人】扬州鑫晶光伏科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市高邮市天山镇光伏产业园 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】913210845592587588

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