【摘要】 。本发明公开了一种石英坩埚外形尺寸检测装置，包括激光测微仪、激光位移传感器、机械手定位机构、传送带和PLC控制系统，其中：所述传送带用于传送石英坩埚；所述激光位移传感器固定在机械手定位机构，并用于测量石英坩埚的高度；所述激光测微仪，用于测量石英坩埚的外径、壁厚、弧厚和底厚；所述PLC控制系统分别接收激光位移传感器和激光测微仪的测量数据，并控制机械手定位机构进行定位，同时控制传送带输送下一个待测石英坩埚，控制激光位移传感器和激光测微仪进行测量。本发明具有以下优点：全部控通过PLC控制系统自动控制，具有更高效率和安全性，且具有精确的测量和定位精度。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏华尔光电材料股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225600 江苏省扬州市高邮市经济开发区长江路北侧江苏华尔光电材料股份有限公司 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】高邮市 【申请号】CN201210246704.8 【申请日】2012-07-17 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103542808A 【公开公告日】2014-01-29 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】G01B11/02; G01B11/06; G01B11/08 【发明人】陈宝昌; 刘福鸿; 刘爱军; 冯涛 【主权项内容】一种石英坩埚外形尺寸检测装置，其特征在于：包括激光测微仪、激光位移传感器、机械手定位机构、传送带和PLC控制系统，其中：所述传送带用于传送石英坩埚；所述激光位移传感器固定在机械手定位机构，并用于测量石英坩埚的高度；所述激光测微仪，用于测量石英坩埚的外径、壁厚、弧厚和底厚；所述PLC控制系统分别接收激光位移传感器和激光测微仪的测量数据，并控制机械手定位机构进行定位，同时控制传送带输送下一个待测石英坩埚，控制激光位移传感器和激光测微仪进行测量。 【当前权利人】江苏华尔光电材料股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市高邮市经济开发区长江路北侧江苏华尔光电材料股份有限公司 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5

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