【摘要】 本发明公开了一种二极管清洗工艺，超声波清洗、超声波精洗、超声波漂洗、超声波一次脱水及超声波二次脱水，本发明还公开了这种二极管清洗工艺所需的工艺设备，括操作台，所述的操作台上依次设置有，超声波清洗槽、超声波精洗槽、超声波漂洗槽、IPA超声波一次脱洗槽和IPA超声波二次脱洗槽，所述的超声波清洗槽、超声波精洗槽、超声波漂洗槽、IPA超声波一次脱洗槽和IPA超声波二次脱洗槽顺序连接；所述的设备还包括用于启动操作台平移的平移气缸以及用于启动操作台升降的升降气缸。 【专利类型】发明授权 【申请人】常州佳讯光电产业发展有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213181 江苏省常州市新北区镜湖路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201210174883.9 【申请日】2012-05-30 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102709157B 【公开公告日】2014-07-09 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102709157B 【授权公告日】2014-07-09 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L21/02; B08B3/12; H01L21/67 【发明人】黄惠平; 王秋霜; 刘秀琴; 潘建强 【主权项内容】一种二极管清洗工艺，其特征在于，包括如下步骤：a、超声波清洗：将待清洗的二极管放入到超声波清洗槽中，功率控制在1500～2500W范围内，频率控制在28～40KHZ范围内，水流速度控制在16L/min范围内，采用电阻率大于12Ω·m，且温度在20～45℃范围内的纯水进行超声波清洗60～180s；b、超声波精洗：将经上述超声波清洗的二极管放入到超声波精洗槽中，功率控制在1500～2500W范围内，频率控制在28～40KHZ范围内，水流速度控制在16L/min范围内，采用电阻率大于12Ω·m，且温度在20～45℃范围内的纯水进行超声波精洗60～180s；c、超声波漂洗：将经上述超声波精洗的二极管放入到超声波漂洗槽中，功率控制在1500～2500W范围内，频率控制在28～40KHZ范围内，水流速度控制在16L/min范围内，采用电阻率大于12Ω·m，且温度在20～45℃范围内的纯水进行超声波漂洗60～180s；d、超声波一次脱水：将经上述超声波漂洗的二极管放入到IPA超声波一次脱洗槽中，功率控制在1500～2500W范围内，频率控制在28～40KHZ范围内，采用电阻率大于20Ω·m的异丙醇进行超声波一次脱水60～180s；e、超声波二次脱水：将经上述超声波漂洗的二极管放入到IPA超声波二次脱洗槽中，功率控制在1500～2500W范围内，频率控制在28～40KHZ范围内，采用电阻率大于20Ω·m的异丙醇进行超声波二次脱水60～180s。 【当前权利人】常州佳讯光电产业发展有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区镜湖路8号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320411718506502G 【引证次数】3.0 【被引证次数】2 【自引次数】1.0 【他引次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】15

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