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一种压电陶瓷致动元件及其制作方法专利

时间:2026-09-20    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种压电陶瓷致动元件。本发明的压电陶瓷致动元件包括具有基片电极的基片,以及一片或两片正反表面分别附着有电极层的压电陶瓷片,所述压电陶瓷片与基片电极通过粘剂相互粘接,压电陶瓷片与基片电极的粘接面上存在至少一处填充有导电物质的无粘剂区域。本发明通过在压电陶瓷片与基片电极的粘接面上设置填充有导电物质的无粘剂区域,使基片电极与压电陶瓷片粘接面的电极层之间实现充分电导通,有效提高了压电陶瓷致动元件工作时的出力,且增加了压电陶瓷致动元件的使用寿命;并进一步通过在基片上与无粘剂区域所对应的位置设置充满导电物质的通孔,降低了制作工艺难度。本发明还公开了一种压电陶瓷致动元件的制作方法。 【专利类型】发明授权 【申请人】花毅 【申请人类型】个人 【申请人地址】223800 江苏省宿迁市宿豫区九龙花园14栋301室 【申请人地区】中国 【申请人城市】宿迁市 【申请人区县】宿豫区 【申请号】CN201210157180.5 【申请日】2012-05-21 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102664234B 【公开公告日】2014-06-18 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102664234B 【授权公告日】2014-06-18 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L41/113; H01L41/27; H01L41/313 【发明人】花毅 【主权项内容】一种压电陶瓷致动元件的制作方法,所述压电陶瓷致动元件包括具有基片电极的基片,以及一片正反表面分别附着有电极层的压电陶瓷片,所述压电陶瓷片与基片电极通过粘剂相互粘接,压电陶瓷片与基片电极的粘接面上存在至少一处填充有导电物质的无粘剂区域;所述基片上设置有数量、位置以及大小与所述压电陶瓷片与基片电极的粘接面上的无粘剂区域相同的通孔,通孔与相对应的无粘剂区域形成连通孔,连通孔中充满导电物质;所述基片上与粘接面相对的另一面上附着有一覆盖层,其特征在于,包括以下步骤:步骤A、在所述压电陶瓷片其中一面的电极层上涂覆一层粘剂,涂覆时在电极层表面形成至少一处无粘剂区域;步骤B、将上述压电陶瓷片涂有粘剂的一面朝上水平放置,将基片覆盖于其上,基片上预先设置有与所述无粘剂区域的数量、位置以及大小相适应的通孔,使基片上的通孔与无粘剂区域对准,然后施加适当的压力,使基片与其下的压电陶瓷片形成稳定的整体;步骤C、向基片上的通孔中注满导电物质;步骤D、在基片上表面生成一覆盖层,使注入的导电物质被封装于通孔中;步骤E、使所述粘剂固化。 【当前权利人】花毅 【当前专利权人地址】江苏省宿迁市宿豫区九龙花园14栋301室 【引证次数】7.0 【自引次数】1.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】7

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