【摘要】 本实用新型公开了一种清洗机圆片保护装置，包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。本实用新型结构合理，解决了原来部分人员在放圆片的时候未能放正，致使旋转过程中离心力过大，真空不能保护，而甩片的问题，同时也解决了部分人员有时对底盘的水吹不干净，而影响了底盘真空度的问题；再加上原有的底盘真空功能仍然可以使用，这样的话，就是在整个清洗过程中是多重保护，保证了产品品质的安全，解决了原有意外的甩片问题。 【专利类型】实用新型 【申请人】南通富士通微电子股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】崇川区 【申请号】CN201020618858.1 【申请日】2010-11-23 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201895006U 【公开公告日】2011-07-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201895006U 【授权公告日】2011-07-13 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B08B13/00 【发明人】陈建斌; 陈斌 【主权项内容】一种清洗机圆片保护装置，其特征是：包括设置在圆片边缘外侧的固定限位座，固定限位座上装通过销轴与固定限位座连接的活动座，且活动座的上端位于圆片边缘的上方，活动座的下端悬在销轴的下方。 【当前权利人】通富微电子股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南通市崇川路288号 【专利权人类型】股份有限公司(中外合资、上市) 【统一社会信用代码】91320000608319749X 【被引证次数】1 【被自引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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