【摘要】 一种制备微观数密度或尺寸梯度金属纳米粒子点阵的方法，其步骤为(a)将掩模粘贴到涂覆高聚物膜或无定形碳膜的衬底上，并把衬底固定到衬底座上；(b)将衬底座安装到高真空沉积室中，使衬底处于金属纳米粒子束流中心；(c)通过气相聚集法团簇束流源产生金属靶材纳米粒子，纳米粒子随缓冲气体通过喷嘴形成高度定向、等效沉积率可精确控制的准直纳米粒子束流；(d)转动衬底座并进行束流沉积，控制衬底座的旋转角度范围和旋转方式制备连续梯度纳米粒子点阵或阶梯状梯度纳米粒子点阵。本发明方法具有高效、可控、低成本、工艺简单并易于规模化生产等特点。 【专利类型】发明申请 【申请人】南京大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201010514268.9 【申请日】2010-10-21 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101983914A 【公开公告日】2011-03-09 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101983914B 【授权公告日】2013-10-30 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】B82B3/00 【发明人】贺龙兵; 韩民; 宋凤麒; 王广厚 【主权项内容】一种制备微观数密度或尺寸梯度金属纳米粒子点阵的方法，其特征在于制备步骤如下：(a)在衬底上涂覆一层均匀的高聚物膜或无定形碳膜，把高度为h的掩模粘贴到衬底(7)表面，然后把带有掩模的衬底固定到可旋转衬底座(6)上；(b)将衬底座(6)安装到纳米粒子束流沉积系统的高真空沉积室(11)中，使得衬底座(6)上的衬底(7)处于准直纳米粒子束流(5)的中心；(c)利用抽气系统罗兹泵(12)和分子泵(13)对沉积室(11)抽真空，并从惰性气体入口(14)向气相聚集法团簇束流源的冷凝室(9)内充入氩气，通过气相聚集法团簇束流源(10)中的原子化器(1)产生高密度金属靶材原子气，靶材原子气在冷凝室(9)中的惰性气体中生长成为金属纳米粒子，金属纳米粒子随惰性气体通过喷嘴(2)等熵膨胀形成金属纳米粒子束流(5)，金属纳米粒子束流经过准直器(4)进入高真空沉积室(11)内，形成高度定向的金属纳米粒子束流(5)；(d)旋转连接真空沉积室(11)内衬底座(6)的连接杆(8)，使衬底表面与纳米粒子束流成夹角θ1，调节溅射电源的输入功率控制金属纳米粒子束流的等效沉积速率为0.1nm/s；打开束流挡板(3)对衬底进行束流沉积并旋转衬底座(6)使衬底表面与纳米粒子束流所成的夹角匀速减小或逐步减小到θ2后关闭束流挡板(3)，即在掩模边缘构成跨度为L的连续梯度纳米粒子点阵或阶梯状梯度纳米粒子点阵，梯度纳米粒子点阵不同区域的沉积质量由衬底座(6)的转动速度或转动步长控制；在涂覆高聚物膜的衬底上制备的梯度纳米粒子点阵具有数密度梯度特征；在涂覆无定形碳膜的衬底上制备的梯度纳米粒子点阵具有尺寸梯度特征。 【当前权利人】南京大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市栖霞区仙林大道163号 【统一社会信用代码】12100000466007458M 【引证次数】2.0 【被引证次数】15 【自引次数】1.0 【他引次数】1.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】13.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】15

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