【摘要】 本发明公开了一种无铅压电陶瓷薄膜的低温制备方法，将溶胶-凝胶法和水热法结合在一起，利用溶胶-凝胶法制备湿膜，然后通过水热处理，使其晶粒生长，得到致密性较高的薄膜。本发明总体上经过无铅压电陶瓷溶胶的制备、成膜、预热处理和水热低温晶化四个阶段。本发明针对目前环境友好型铌酸钾钠压电薄膜制备方法中的不足，尤其是溶胶-凝胶法制备薄膜需要后期的晶化热处理带来宏观缺陷的问题，结合溶胶-凝胶法和水热法制备薄膜的优点，采用水热-溶胶凝胶法制备铌酸钾钠无铅压电薄膜，减少薄膜的宏观缺陷和裂纹，以便减少薄膜电极间的漏电流值，提高薄膜的压电特性；对无铅压电陶瓷薄膜在纳米制造、MEMS、超精密加工等领域有重要意义。 【专利类型】发明申请 【申请人】南京航空航天大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210016 江苏省南京市御道街29号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】秦淮区 【申请号】CN201010290334.9 【申请日】2010-09-21 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101962293A 【公开公告日】2011-02-02 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】C04B35/495; C04B35/624 【发明人】朱孔军; 裘进浩; 季宏丽 【主权项内容】一种无铅压电陶瓷薄膜的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：步骤一：称取Nb2O5，沸水浴条件下溶解于氢氟酸中，得到Nb2F5溶液；步骤二：向步骤一得到的Nb2F5溶液中按n(Nb2O5)∶n(草酸铵)＝1∶6加入草酸铵溶液并充分混合；步骤四：向步骤二得到的混合液中逐滴加入氨水，产生白色Nb(OH)5沉淀；步骤五：将步骤四所得的Nb(OH)5沉淀在60～80℃陈化，过滤并洗涤后溶解于柠檬酸溶液中，得到Nb‑柠檬酸溶液；步骤六：称取步骤五得到的Nb‑柠檬酸溶液，按照摩尔比n(K+)∶n(Na+)∶n(Nb5+)＝1∶1∶2，加入K2CO3、Na2CO3粉末，待K2CO3、Na2CO3全部溶解后得到混合液；再向所得的混合液中加入氨水，调节其pH值接近7.5后再加入乙二醇，并不断搅拌，得到铌酸钾钠前驱体溶胶；步骤七：将步骤六所得的溶胶涂覆在硅基片上，并进行烘干；步骤八：将步骤七经涂覆溶胶的硅基片置于150～300℃温度下水热处理1～36小时。 【当前权利人】南京航空航天大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市御道街29号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000466006826U 【引证次数】1.0 【被引证次数】7 【他引次数】1.0 【被自引次数】3.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】7

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