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消除微电子机械系统悬空结构粘附现象的结构专利

时间:2026-08-01    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型设计一种消除微电子机械系统悬空结构粘附现象的结构,其特征在于在芯片的底部键合封装层;封装层所用材料的热膨胀系数为5.6×10-6~28×10-6/℃,为FR4或者Al-2O3,封装层的厚度为50~1000μm。本实用解粘附效果好,新型结构简单,设备要求低,可控制性强,并且可以批量化大生产。。 【专利类型】实用新型 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210096 江苏省南京市四牌楼2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201020644647.5 【申请日】2010-12-07 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201980994U 【公开公告日】2011-09-21 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201980994U 【授权公告日】2011-09-21 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B81C1/00 【发明人】陈志远; 宋竞; 唐洁影 【主权项内容】消除微电子机械系统悬空结构粘附现象的结构,其特征在于在芯片的底部设有封装层。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市四牌楼2号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【被引证次数】3 【被自引次数】1.0 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】3

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