【摘要】 本发明公开了一种小尺寸材料浅层缺陷检测系统，包括脉冲激光器、分光镜、柱面凸透镜、接收传感器、高精度延时装置、电子计算机，所述分光镜设置在脉冲激光器的前方，脉冲激光器发出的激光经分光镜分成两束，一束激光通过柱面凸透镜聚焦入射到待测材料的表面，另一束激光入射到高精度延时装置上，高精度延时装置的输出端与接收传感器的输入端相连接，高精度延时装置接收到激光信号后延时一段时间，之后输出电信号作为接收传感器的触发信号，接收传感器接收到触发信号后开始探测待测材料上传播的超声波信号，并将探测到的超声波信号传输给电子计算机进行处理。本发明的检测系统检测精度高，可以检测固体材料浅层纳米量级的微小缺陷。 【专利类型】发明授权 【申请人】东南大学; 南京理工大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210096 江苏省南京市四牌楼2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010171995.X 【申请日】2010-05-14 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101858890B 【公开公告日】2011-10-26 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101858890B 【授权公告日】2011-10-26 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01N29/06; G01N29/34 【发明人】赵艳; 沈中华; 陆建; 倪晓武; 崔一平 【主权项内容】1.一种小尺寸材料浅层缺陷检测系统，其特征在于，包括脉冲激光器[101]、分光镜[102]、柱面凸透镜[103]、接收传感器[105]、高精度延时装置[106]、电子计算机[107]，所述分光镜[102]设置在脉冲激光器[101]的前方，脉冲激光器[101]发出的激光经分光镜[102]分成两束，一束激光通过柱面凸透镜[103]聚焦入射到待测材料[104]的表面，另一束激光入射到高精度延时装置[106]上，高精度延时装置[106]的输出端与接收传感器[105]的输入端相连接，高精度延时装置[106]接收到激光信号后延时一段时间，高精度延时装置[106]的延时时间为两个时间之和，其中一个时间为分光镜[102]分出的光束入射到待测材料[104]的表面的时间，另一个时间为超声波在待测材料[104]中从激发位置传播到探测位置的时间，之后输出电信号作为接收传感器[105]的触发信号，接收传感器[105]接收到触发信号后开始探测待测材料[104]上传播的超声波信号，并将探测到的超声波信号传输给电子计算机[107]进行处理；其中接收传感器[105]包括He-Ne激光器[201]、扩束准直装置[202]、第一分光镜[203]、第一反射镜[204]、第二反射镜[205]、第二分光镜[206]、第三反射镜[207]、高象素CCD照相机[208]，扩束准直装置[202]位于He-Ne激光器[201]的前方，He-Ne激光器[201]发出的激光经扩束准直装置[202]扩束准直后由第一分光镜[203]分成两束，其中一束经第一反射镜[204]、第二反射镜[205]反射后入射至第二分光镜[206]；另外一束直接入射至第二分光镜[206]，通过该分光镜后入射至第三反射镜[207]，经反射镜反射后再次入射至第二分光镜[206]，与经第二反射镜[205]反射后入射至第二分光镜[206]的光线相干涉，形成的干涉图被高象素CCD照相机[208]所采集，该高象素CCD照相机在高精度延时装置[106]的控制下拍照并将采集的图像传输至电子计算机[107]进行处理；上述第二分光镜[206]与第三反射镜[207]的正下方为待测材料[104]。 【当前权利人】东南大学; 南京理工大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市四牌楼2号; 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号 【专利权人类型】; 公立 【统一社会信用代码】12100000466006770Q; 12100000466007597C 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】16

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