【摘要】 本发明公开了一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，包括驱动电极、鲨齿式触点系统、悬臂梁、共面波导信号线、固定锚区和衬底，所述驱动电极、共面波导信号线固定在衬底上，悬臂梁的固定端通过固定锚区固定在共面波导信号线上，驱动电极位于悬臂梁的下方；所述鲨齿式触点系统位于悬臂梁自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与于悬臂梁自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统为两组以上触点，所述每组触点之间存在高度差。本发明提供的射频MEMS开关，有效地改善了触点因多次接触击打引起的可靠性问题，使开关的寿命得到较大的提高。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国电子科技集团公司第五十五研究所 【申请人类型】企业 【申请人地址】210016 江苏省南京市中山东路524号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010584317.6 【申请日】2010-12-13 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102097222A 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【发明人】朱健; 姜理利; 贾世星; 郁元卫 【主权项内容】一种含有鲨齿式触点系统的射频MEMS开关，包括驱动电极(1)、悬臂梁(3)、共面波导信号线(4)、固定锚区(6)和衬底(7)，所述驱动电极(1)、共面波导信号线(4)固定在衬底(7)上，悬臂梁(3)的固定端通过固定锚区(6)固定在共面波导信号线(4)上，驱动电极(1)位于悬臂梁(3)的下方，其特征在于：所述射频MEMS开关还包括鲨齿式触点系统(2)，所述鲨齿式触点系统(2)位于悬臂梁(3)自由端的下方，或者所述射频MEMS开关导通时与于悬臂梁(3)自由端接触的传输线的上方，所述鲨齿式触点系统(2)为两组以上触点，所述每组触点之间存在高度差。 【当前权利人】中国电子科技集团公司第五十五研究所 【当前专利权人地址】江苏省南京市中山东路524号 【被引证次数】8 【被他引次数】8.0 【家族被引证次数】8

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1785514127.html