【摘要】 本实用新型公开了一种新型常关态场发射型射频微机械开关，低损耗衬底，绝缘介质薄膜、共面波导的信号线和地线，信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线及信号线与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜，其特征在于两根信号线相邻的端部各设有一排金属微尖，两排金属微尖之间有间隔；低损耗衬底与两排金属微尖相对应的位置内凹形成一个空腔，使两排金属微尖处于悬空状态。本实用新型中的共面波导的信号线结构从物理上进行隔断类似机械开关，因此它的隔离度高；而其无可动结构的通断方式类似半导体开关，因此它的可靠性高且响应速度快；且通过采用尖对尖结构，可获得较低的开关阈值电压。 【专利类型】实用新型 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210096 江苏省南京市玄武区四牌楼二号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201020663382.3 【申请日】2010-12-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201886965U 【公开公告日】2011-06-29 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201886965U 【授权公告日】2011-06-29 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01H36/00 【发明人】黄庆安; 王立峰; 唐洁影; 韩磊; 张晓兵 【主权项内容】一种常关态场发射型射频微机械开关，包括低损耗衬底(1)，绝缘介质薄膜(2)、共面波导的信号线(5)和地线(3)，信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线(3)及信号线(5)与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜(2)，其特征在于两根信号线(5)相邻的端部各设有一排金属微尖(4)，两排金属微尖(4)之间有间隔；低损耗衬底(1)与两排金属微尖(4)相对应的位置内凹形成一个空腔(6)，使两排金属微尖(4)处于悬空状态。。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市玄武区四牌楼二号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【被引证次数】2 【被自引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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