【摘要】 本发明公开了一种基于频率检测原理的双轴谐振式硅微加速度计，由上下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线；加速度计机械结构由质量块、外框架、两对完全相同的谐振器和八个完全相同的一级杠杠放大机构组成；质量块位于结构的中间，一对谐振器上下对称布置在质量块的上下两侧，用于测量沿y轴输入的加速度，另一对谐振器左右对称布置在质量块的左右两侧，用于测量沿x轴输入的加速度，整个结构呈中心对称图形。本发明采用四个谐振器，分别位于质量块的上下、左右两侧，可用于检测两个轴的加速度；避免采用了支撑梁支撑，简化了结构，且结构稳定，同时由加速度转换的惯性力有效地传递到谐振器上。 【专利类型】发明申请 【申请人】南京理工大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210094 江苏省南京市孝陵卫200号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010565101.5 【申请日】2010-11-30 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102109534A 【公开公告日】2011-06-29 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102109534B 【授权公告日】2012-09-05 【授权公告年份】2012.0 【发明人】施芹; 裘安萍; 贾方秀; 苏岩 【主权项内容】一种双轴谐振式硅微加速度计，由上下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，其特征在于：双轴谐振式硅微加速度计能够测量两个轴向的加速度，其中加速度计机械结构由质量块(1)、外框架(2)、四个谐振器(3a、3b、3c、3d)、八个一级杠杆放大机构(4a、4b、4c、4d、4e、4f、4g、4h)、四个刚性杆(7a、7b、7c、7d)和四个导向机构(6a、6b、6c、6d)组成，质量块(1)位于结构的中间，第一、三谐振器(3a、3c)对称布置在质量块(1)的上下两侧，该两个谐振器(3a、3c)的一端与外框架(2)相连，第一谐振器(3a)的另一端与第一导向机构(6a)连接，第三谐振器(3c)的另一端与第三导向机构(6c)连接，第一导向机构(6a)与第一刚性杆(7a)连接，第三导向机构(6c)与第三刚性杆(7c)连接；第一刚性杆(7a)的左右两端与第一、二一级杠杆放大机构(4a、4b)的输出端相连，第三刚性杆(7c)的左右两端与第五、六一级杠杆放大机构(4e、4f)的输出端相连，该第一、二、五、六一级杠杆放大机构(4a、4b、4e、4f)的支点端与外框架(2)相连，且输入端与质量块(1)相连；第二、四谐振器(3b、3d)对称布置在质量块的左右两侧，该两个谐振器(3b、3d)的一端与外框架(2)相连，第二谐振器(3b)的另一端与第二导向机构(6b)连接，第四谐振器(3d)的另一端与第四导向机构(6d)连接，第二导向机构(6b)与第一刚性杆(7b)连接，第四导向机构(6d)与第四刚性杆(7d)连接；第二刚性杆(7b)的左右两端与第三、四一级杠杆放大机构(4c、4d)的输出端相连，第四刚性杆(7d)的左右两端与第七、八一级杠杆放大机构(4g、4h)的输出端相连，该四个一级杠杆放大机构(4c、4d、4g、4h)的支点端与外框架(2)相连，且输入端与质量块(1)相连；外框架(2)通过固定基座(5a、5b、5c、5d)使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。 【当前权利人】南京理工大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市玄武区孝陵卫200号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000466007597C 【被引证次数】29 【被自引次数】2.0 【被他引次数】27.0 【家族被引证次数】29

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