【摘要】 本发明公开了一种新型常关态场发射型射频微机械开关，低损耗衬底，绝缘介质薄膜、共面波导的信号线和地线，信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线及信号线与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜，其特征在于两根信号线相邻的端部各设有一排金属微尖，两排金属微尖之间有间隔；低损耗衬底与两排金属微尖相对应的位置内凹形成一个空腔，使两排金属微尖处于悬空状态。本发明中的共面波导的信号线结构从物理上进行隔断类似机械开关，因此它的隔离度高；而其无可动结构的通断方式类似半导体开关，因此它的可靠性高且响应速度快；且通过采用尖对尖结构，可以获得较低的开关阈值电压。 【专利类型】发明申请 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】210096 江苏省南京市四牌楼2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南京市 【申请人区县】玄武区 【申请号】CN201010591238.8 【申请日】2010-12-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102064041A 【公开公告日】2011-05-18 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102064041B 【授权公告日】2013-04-03 【授权公告年份】2013.0 【发明人】黄庆安; 王立峰; 唐洁影; 韩磊; 张晓兵 【主权项内容】一种常关态场发射型射频微机械开关，包括低损耗衬底(1)，绝缘介质薄膜(2)、共面波导的信号线(5)和地线(3)，信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线(3)及信号线(5)与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜(2)，其特征在于两根信号线(5)相邻的端部各设有一排金属微尖(4)，两排金属微尖(4)之间有间隔；低损耗衬底(1)与两排金属微尖(4)相对应的位置内凹形成一个空腔(6)，使两排金属微尖(4)处于悬空状态。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省南京市四牌楼2号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【被引证次数】2 【家族被引证次数】2

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