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一种清洗真空吸盘定位部件的装置专利

时间:2026-07-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 一种清洗真空吸盘定位部件的装置,包括:上盖和基板,所述上盖与基板通过合叶连接,上盖沿合叶转动,从而使上盖与基板间开启和闭合;其中,光罩薄膜和真空吸盘定位部件位于基板上方,并且在上盖和基板闭合时,上盖完全覆盖光罩薄膜,而不覆盖真空吸盘定位部件。本实用新型由于上盖对被覆盖的光罩薄膜具有保护作用,不会因擦拭真空吸盘定位部件而刮伤光罩薄膜,因此能够更有效地清洗真空吸盘定位部件。。 【专利类型】实用新型 【申请人】和舰科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020656029.2 【申请日】2010-12-10 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201950055U 【公开公告日】2011-08-31 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201950055U 【授权公告日】2011-08-31 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B08B13/00 【发明人】马如贵; 何如兵; 凌成伟; 章进东 【主权项内容】一种清洗真空吸盘定位部件的装置,其特征在于,包括:上盖和基板,所述上盖与基板通过合叶连接,上盖沿合叶转动,从而使上盖与基板间开启和闭合;其中,光罩薄膜和真空吸盘定位部件位于基板上方,并且在上盖和基板闭合时,上盖完全覆盖光罩薄膜,而不覆盖真空吸盘定位部件。 【当前权利人】和舰科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】91320594732513557J

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