【摘要】 一种平板显示器ACF贴敷设备中的预校位装置，其特征在于：该装置包括照相机构(7)、预校台面机构(8)以及搬运机构(9)，其中，照相机构(7)由照相头(26)和驱动照相头(26)的X向移动机构组成；预校台面机构(8)由吸着台面(44)、绕Z轴转动机构和Y向移动机构组成；搬运机构(9)由吸着手臂(60)和驱动吸着手臂(60)的X向移动机构组成。本方案通过照相头来捕捉预校台面上LCD液晶面板的两个标识点位置，若发现Y向偏差则利用Y向移动机构校正；若发现转角偏差，则利用绕Z轴转动机构进行校正；若发现X向偏差，则利用搬运机构中的X向移动机构校正，使LCD液晶面板的驱动端子区处于正确的位置上，从而提高ACF膜的贴敷精度。 【专利类型】发明授权 【申请人】苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215121 江苏省苏州市苏州工业园区唯新路99号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201010140056.9 【申请日】2010-04-07 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101807371B 【公开公告日】2011-09-28 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101807371B 【授权公告日】2011-09-28 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G09F9/30; G02F1/13 【发明人】景建平; 唐志稳; 陈华轩; 朱晓伟 【主权项内容】一种平板显示器ACF贴敷设备中的预校位装置，其特征在于：该装置包括照相机构(7)、预校台面机构(8)以及搬运机构(9)；照相机构(7)由照相头(26)和驱动照相头(26)的X向移动机构组成，驱动照相头(26)的X向移动机构主要由照相头安装座、第一直线导轨(14)、第一滚珠丝杆(15)、第一伺服电机(10)、第一电机传感器(18)和第一传感器触片(21)组成，其中，第一直线导轨(14)和第一滚珠丝杆(15)布置在水平X方向上，第一伺服电机(10)与第一滚珠丝杆(15)中的螺杆传动连接，照相头(26)安装在照相头安装座上，照相头安装座座落在第一直线导轨(14)上，第一滚珠丝杆(15)中的螺母相对照相头安装座呈固定连接，第一传感器触片(21)相对照相头安装座固定，第一电机传感器(18)布置在第一传感器触片(21)的移动路径上，用于感测照相头(26)相对第一直线导轨(14)的位置；预校台面机构(8)由吸着台面(44)、绕Z轴转动机构和Y向移动机构组成，绕Z轴转动机构主要由第四伺服电机(40)、减速器(42)、第四电机传感器(43)和第四传感器触片(45)组成，其中，第四伺服电机(40)的转轴与减速器(42)的输入轴连接，减速器(42)的输出轴与吸着台面(44)连接，吸着台面(44)处于水平状态，第四传感器触片(45)相对吸着台面(44)固定，第四电机传感器(43)布置在第四传感器触片(45)的转动路径上，用于感测吸着台面(44)环绕Z轴的方位；Y向移动机构主要由台面安装座、第二直线导轨(33)、第二滚珠丝杆(31)、第二伺服电机(27)、第二电机传感器(32)和第二传感器触片(36)组成，其中，第二直线导轨(33)和第二滚珠丝杆(31)布置在水平Y方向上，第二伺服电机(27)与第二滚珠丝杆(31)中的螺杆传动连接，吸着台面(44)及绕Z轴转动机构安装在台面安装座上，台面安装座座落在第二直线导轨(33)上，第二滚珠丝杆(31)中的螺母相对台面安装座呈固定连接，第二传感器触片(36)相对台面安装座固定，第二电机传感器(32)布置在第二传感器触片(36)的移动路径上，用于感测台面安装座相对第二直线导轨(33)的位置；搬运机构(9)由吸着手臂(60)和驱动吸着手臂(60)的X向移动机构组成，驱动吸着手臂(60)的X向移动机构主要由手臂安装座、第三直线导轨(52)、第三滚珠丝杆(53)、第三伺服电机(47)、第三电机传感器(51)和第三传感器触片(56)组成，其中，第三直线导轨(52)和第三滚珠丝杆(53)布置在水平X方向上，第三伺服电机(47)与第三滚珠丝杆(53)中的螺杆传动连接，吸着手臂(60)安装在手臂安装座上，手臂安装座座落在第三直线导轨(52)上，第三滚珠丝杆(53)中的螺母相对手臂安装座呈固定连接，第三传感器触片(56)相对手臂安装座固定，第三电机传感器(51)布置在第三传感器触片(56)的移动路径上，用于感测吸着手臂(60)相对第三直线导轨(52)的位置。 【当前权利人】苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区唯新路99号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320594663841572N 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】5

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