【摘要】 本实用新型公开了一种薄膜太阳能电池镀膜设备，包括与薄膜太阳能电池的镀膜层数相同数目的若干个镀膜单机，所述若干个镀膜单机依次排列，并且与薄膜太阳能电池从衬底向外的膜层顺序一一对应的依次装备有相应的镀膜材料，所述镀膜设备还设有在两个镀膜单机之间传递加工工件的机械传送手。本实用新型流水线规模小、对场地要求低、完成全套多层镀膜工艺的周期短，生产成本低，成品的镀膜均匀度高、质量好。 【专利类型】实用新型 【申请人】苏州市同济能源有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市东吴北路225号惠康商务大厦4楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201020179507.5 【申请日】2010-05-05 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201812841U 【公开公告日】2011-04-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201812841U 【授权公告日】2011-04-27 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; C23C14/34; C23C14/56 【发明人】张卫中; 于方; 高克平; 宋殿义; 崔咏梅; 王才兴 【主权项内容】一种薄膜太阳能电池镀膜设备，其特征在于：包括与薄膜太阳能电池的镀膜层数相同数目的若干个镀膜单机(1)，所述若干个镀膜单机(1)依次排列，并且与薄膜太阳能电池从衬底向外的膜层顺序一一对应的依次装备有相应的镀膜材料，所述镀膜设备还设有在两个镀膜单机(1)之间传递加工工件(2)的机械传送手(3)。 【当前权利人】苏州市同济能源有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市东吴北路225号惠康商务大厦4楼 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】913205087036535422 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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