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具有预警功能的离子植入机驱动机构及其预警方法专利

时间:2026-07-02    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明提供了一种具有预警功能的离子植入机驱动机构及其预警方法,该驱动机构包括惰性轴承、惰性轴承轴、左右从动轮、三项交流马达、正时皮带、温度传感器、前置放大器、控制处理器、状态显示屏。通过对驱动机构中的惰性轴承或惰性轴承轴温度的测量,能够实现实时监控和预警的功能。 【专利类型】发明申请 【申请人】和舰科技(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201010001275.9 【申请日】2010-01-19 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102127744A 【公开公告日】2011-07-20 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102127744B 【授权公告日】2012-12-19 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】C23C14/48; H01L21/00 【发明人】孙伦郑; 何伟; 徐忠辉; 金明 【主权项内容】一种具有预警功能的离子植入机驱动机构,包括惰性轴承、惰性轴承轴、左右从动轮、三项交流马达和正时皮带,其特征在于,还包括:温度传感器,所述温度传感器用于测量所述惰性轴承或惰性轴承轴的温度;控制处理器,所述控制处理器用于将所述温度传感器的电压信号转换为数字信号;以及状态显示屏,所述状态显示屏与控制处理器连接,用于显示实时温度。 【当前权利人】和舰科技(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】91320594732513557J 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】2.0 【家族被引证次数】1

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