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基于镁锌氧化物薄膜的紫外光探测器及其制备方法专利

时间:2026-07-02    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明揭示了一种基于镁锌氧化物薄膜的紫外光探测器,其中镁锌氧化物薄膜生成于衬底材料上,并于镁锌氧化物薄膜上进一步生成有金属薄膜叉指电极。其特点体现为:该金属薄膜叉指电极间隔地在其指电极与镁锌氧化物薄膜之间夹设有导电层。从制法上来看,即在完成镁锌氧化物薄膜制备后,将导电层先于金属电极沉积到镁锌氧化物薄膜之上。本发明基于镁锌氧化物薄膜的紫外光探测器及其制法,有效增强了薄膜之间的附着力,使产生的光生电子与空穴有效分离,减小电子与空穴的复合,促进光生载流子的产生并延长其寿命,使光电流更强,从而进一步提高了探测器的灵敏度。 【专利类型】发明授权 【申请人】中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】215125 江苏省苏州市工业园区若水路398号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】吴中区 【申请号】CN201010207763.5 【申请日】2010-06-21 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101887925B 【公开公告日】2011-10-12 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101887925B 【授权公告日】2011-10-12 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/09; H01L31/0224; H01L31/18 【发明人】李景; 顾济华; 蒋春萍; 王亦; 马仙梅 【主权项内容】基于镁锌氧化物薄膜的紫外光探测器,所述镁锌氧化物薄膜生成于衬底材料上,且所述紫外光探测器具有生成于镁锌氧化物薄膜之上的金属薄膜叉指电极,其特征在于:所述金属薄膜叉指电极间隔地在其指电极与镁锌氧化物薄膜之间夹设有导电层。 【当前权利人】中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 【当前专利权人地址】江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号 【统一社会信用代码】12100000717826387T 【引证次数】1.0 【他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】8

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