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多晶硅还原炉专利

时间:2026-06-25    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及一种多晶硅还原炉,其包括有底座以及其上设置的钟罩形炉体,其中底座上设置有中心出气口,以及围绕中心出气口同心设置的、具有不同半径的多个电极发热体层,每一电极发热体层包括多个沿周向均匀设置的电极发热体,多个电极发热体层的最外层的外侧设置有多个进气口。本实用新型是通过将进气口设置在电极发热体最外层的外侧,使得三氯氢硅和氢气在进气口与出气口之间的对流中穿过全部的电极发热体涵盖,均匀沉积在电极发热体上。而电极发热体的截面面积较大,启动时更稳定,且电极发热体用于硅沉积的表面更大,更利于硅的生长。另外多晶硅还原炉设置有碳素纤维材料或硅材料构成的保温隔热装置,能大大节约能耗,提高产量。 【专利类型】实用新型 【申请人】王春龙 【申请人类型】个人 【申请人地址】214100 江苏省无锡市锡山经济开发区芙蓉中二路288号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】锡山区 【申请号】CN201020179016.0 【申请日】2010-04-30 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201713326U 【公开公告日】2011-01-19 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201713326U 【授权公告日】2011-01-19 【授权公告年份】2011.0 【发明人】王春龙 【主权项内容】一种多晶硅还原炉,其包括有底座以及其上设置的钟罩形炉体,其特征是,所述底座上设置有中心出气口,以及围绕所述中心出气口同心设置的、具有不同半径的多个电极发热体层,所述每一电极发热体层包括多个沿周向均匀设置的电极发热体,所述多个电极发热体层的最外层的外侧设置有多个进气口。 【当前权利人】王春龙 【当前专利权人地址】江苏省无锡市锡山经济开发区芙蓉中二路288号 【被引证次数】4 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】4

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