【摘要】 本发明涉及一种硅片并排输送机构，其包括机架、台面板，特征是：所述台面板固定在机架上，导杆通过螺母固定在升降台上，导套安装在台面板，导杆穿在导套中，在台面板上固定气缸，气缸的推杆与升降台固定，升降台通过导杆连接在台面板上，并通过气缸支撑，在台面板上安装列向输送装置和横向输送装置。本发明结构简单、紧凑，合理；能精确的将列向输送的硅片定位，并转为横向并排输送，平稳可靠，能提高工作效率，增加产能，克服了硅片输送的单向局限以及手工操作的局限，降低了劳动强度，减少了人力，有效保证硅片的合格率，减少浪费，间接地降低了生产成本。 该数据由<>整理 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡先导自动化设备有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区国家新技术产业开发区新加坡工业园行创四路7号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010124250.8 【申请日】2010-02-10 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101783309B 【公开公告日】2011-12-14 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101783309B 【授权公告日】2011-12-14 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/677; H01L21/68; H01L31/18 【发明人】王燕清 【主权项内容】一种硅片并排输送机构，包括机架(1)、台面板(2)，其特征是：所述台面板(2)固定在机架(1)上，升降台(3)通过导杆(17)连接在台面板(2)上，导杆(17)通过螺母(15)固定在升降台(3)上，导套(16)安装在台面板(2)，导杆(17)穿在导套(16)中，所述台面板(2)上固定气缸(18)，气缸(18)的推杆固定在升降台(3)上，升降台(3)通过气缸(18)支撑，列向输送装置通过支撑板(9)固定在升降台(3)上，所述台面板(2)上安装横向输送装置；所述的列向输送装置采用支撑板(9)固定在升降台(3)上，第一滚轮轴(13)固定在支撑板(9)上，第一滚轮(11)通过第一轴承(19)安装在第一滚轮轴(13)上，第一伺服电机(4)及第三伺服电机(35)通过连接杆(7)连接在支撑板(9)上，第一伺服电机(4)通过第一联轴器(5)与传动轴(6)连接，第三伺服电机(35)通过第一联轴器(5)与传动轴(6)连接，传动轴(6)通过第三轴承(31)安装在支撑板(9)上；第一传动轮(8)通过第二平键(30)连接在传动轴(6)上，列向输送带(10)将第一传动轮(8)和第一滚轮(11)连接传动；所述的横向输送装置采用电机固定板(20)、支撑块(23)以及竖块(24)固定在台面板(2)上，在电机固定板(20)上固定第二伺服电机(21)，长轴(26)通过第二联轴器(22)与第二伺服电机(21)连接，并通过第二轴承(27)安装在支撑块(23)上，第二传动轮(29)通过第一平键(28)连接在长轴(26)上，第二滚轮(33)通过第四轴承(32)安装在第二滚轮轴(25)上，第二滚轮轴(25)安装固定在竖块(24)上，横向输送带(34)将第二滚轮(33)与第二传动轮(29)连接传动。 【当前权利人】无锡先导智能装备股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新吴区新锡路20号 【引证次数】3.0 【自引次数】1.0 【他引次数】2.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】5

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