【摘要】 本实用新型公开一种碱性排气加药系统，包括碱排加药桶及与其连接的外购硫酸输送管路，所述碱排加药桶还建有与废酸桶连接的泵送管路，所述废酸桶用于盛装湿法机台生产过程中所产生的废酸处理液。本实用新型所述的碱性排气加药系统，通过设置废酸桶及相应的泵送管路与现有碱排加药桶相连接，可将半导体制程中湿法机台的废酸处理液引自现有的碱排中心处理系统，一方面提供了新的碱排药剂，节省了外购硫酸的成本，同时保证了系统运行的可靠性；另一方面达到了废酸液就地处理，减少了相应的污染源，减少了废酸液的外运处理费用，具有良好的生产和社会效益。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020665593.0 【申请日】2010-12-17 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201952270U 【公开公告日】2011-08-31 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201952270U 【授权公告日】2011-08-31 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C02F1/66 【发明人】庄建春 【主权项内容】一种碱性排气加药系统，包括碱排加药桶及与其连接的外购硫酸输送管路，其特征在于，所述碱排加药桶还建有与废酸桶连接的泵送管路，所述废酸桶用于盛装湿法机台生产过程中所产生的废酸处理液。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资); 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J; 91320214739444443B

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