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沉积蒸发源专利

时间:2026-06-24    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种沉积蒸发源,其包括加热装置、放置于该加热装置上方的加热板和放置于所述加热板上的蒸发材料,其中所述加热板上均匀地设有贯穿所述加热板的通道。根据本发明的沉积蒸发源能够有效地解决由在蒸发过程中蒸发物质所处的工作气氛不一致而导致沉积薄膜的光电特性欠佳的问题。根据本发明的沉积蒸发源能够使得沉积薄膜的结构、光电特性一致,从而获得高品质的沉积薄膜。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 四川尚德太阳能电力有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010149792.0 【申请日】2010-04-12 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102214730A 【公开公告日】2011-10-12 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L31/18; H01L31/0296; H01L31/04; C23C14/24 【发明人】雷智; 邹志杰 【主权项内容】一种沉积蒸发源,包括:加热装置;加热板,放置于所述加热装置上方;和蒸发材料,放置于所述加热板上,其特征在于,所述加热板上均匀地设有贯穿所述加热板的通道。。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 四川尚德太阳能电力有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区长江南路17-6; 四川省成都经济技术开发区星光中路18号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资); 有限责任公司 【统一社会信用代码】9132021372655423XN; 91510112689001416Q 【引证次数】6.0 【被引证次数】1 【他引次数】6.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】1

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