【摘要】 一种支撑装置及组装薄膜物理钛腔的线圈和护罩的方法，所述线圈的第一位置、第三位置和第五位置分别设置有线圈组装部，所述第一位置为电源的进线位置，所述第五位置为电源的出线位置，所述第三位置位于所述第一位置和第五位置之间；所述护罩上设置有护罩组装部，分别对应于所述线圈组装部，该方法包括如下步骤：将所述支撑装置放置于所述护罩内；将所述线圈定位于所述支撑装置的凹槽，并使所述线圈的线圈组装部与护罩的护罩组装部位于同一高度；在所述第一位置、第三位置和第五位置分别连接所述线圈组装部与护罩组装部。本发明在组装过程中，护罩上产生的颗粒少。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010165695.0 【申请日】2010-05-06 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102294671A 【公开公告日】2011-12-28 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102294671B 【授权公告日】2013-10-23 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】B25B27/00; C23C14/34 【发明人】罗明新; 周天贤 【主权项内容】一种支撑装置，其特征在于，包括：支撑台，设置有在组装薄膜物理钛腔的线圈与护罩时用以定位所述线圈的凹槽。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资); 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J; 91320214739444443B 【引证次数】6.0 【被引证次数】2 【他引次数】6.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】2

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