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Z轴电容式加速度计专利

时间:2026-06-23    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及一种Z轴电容式加速度计,其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板,驱动质量块和电容感应极板相互分离,正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时,电容感应极板通过连接梁随之转动。本实用新型涉及的Z轴电容式加速度计,通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计,有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离,从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。 【专利类型】实用新型 【申请人】美新半导体(无锡)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020617239.0 【申请日】2010-11-19 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201852852U 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201852852U 【授权公告日】2011-06-01 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01P15/125 【发明人】蒋乐跃; 周汉秦 【主权项内容】一种Z轴电容式加速度计,其包括电容感应极板、驱动质量块,所述电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板,其特征在于:其还包括有连接梁,所述驱动质量块和电容感应极板相互分离,正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧;当驱动质量块转动时,所述电容感应极板通过所述连接梁随之转动。 : 【当前权利人】美新半导体(无锡)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91320214718538301Q 【被引证次数】2 【被自引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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