【摘要】本发明提供了一种半导体结构及其形成方法，该方法包括步骤：提供晶片，所述晶片背面具有多晶硅层，所述晶片正面具有半导体器件；形成覆盖所述多晶硅层的氧化物层。本发明解决了工艺线后段时清洗工艺对晶片背面的多晶硅层造成的损伤的问题。 该数据由
【摘要】 本实用新型涉及一种板材上料定位机构，包括由面板、支腿及底板构成的传输辊道框架；所述面板上的一侧固定连接有滚轮组件，所述滚轮组件的轴线垂直于所述面板，所述滚轮组件下面的所述支腿上铰接有摆臂，所述摆臂的中部铰接有驱动件，所述驱动件的另一端铰接在所述底板上。本实用新型采用摆臂与滚轮相结合，通过机械方式使板材工件进行平稳、可靠、便捷的初始定位，结构简单、紧凑，合理；可适用于厚薄不同的板材工件的定位。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡华联精工机械有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市新区旺庄街道城南路238号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020544146.X 【申请日】2010-09-27 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201849894U 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201849894U 【授权公告日】2011-06-01 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B65G13/00 【发明人】鲍光辉; 沈奇; 龚国华; 何家红; 周洪根 【主权项内容】一种板材上料定位机构，包括由面板(17)、支腿(16)及底板(15)构成的传输辊道框架(1)，其特征是：所述面板(17)上的一侧固定连接有滚轮组件，所述滚轮组件的轴线垂直于所述面板(17)，所述滚轮组件下面的所述支腿(16)上铰接有摆臂(2)，所述摆臂(2)的中部铰接有驱动件(4)，所述驱动件(4)的另一端铰接在所述底板(15)上。 【当前权利人】无锡华联精工机械有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区旺庄街道城南路238号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320214713285480X 【被引证次数】4 【被自引次数】4.0 【家族被引证次数】4
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