【摘要】 本实用新型公开了一种硅片碎屑过滤网及具有所述硅片碎屑过滤网的湿制程设备，所述硅片碎屑过滤网包括过滤网框架和筛网，所述筛网的外缘连接在所述过滤网框架上。本实用新型提供的用于湿制程设备的硅片碎屑过滤网具有清洗或者更换都很方便并且过滤较为精细的特点。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 库特勒自动化系统(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020563238.2 【申请日】2010-10-14 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201904365U 【公开公告日】2011-07-20 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201904365U 【授权公告日】2011-07-20 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; B01D29/05 【发明人】黄洪杰; 高嘉梁 【主权项内容】一种硅片碎屑过滤网，其特征在于，包括过滤网框架和筛网，所述筛网的外缘连接在所述过滤网框架上。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 库特勒自动化系统(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号; 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区淞北路27号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资); 有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】9132021372655423XN; 913205007344058670

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