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热式质量流量传感器封装件专利

时间:2026-06-22    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及一种热式质量流量传感器封装件,其包括流量传感器芯片和与流量传感器芯片键合在一起的盖帽,所述流量传感器芯片上设有传感器敏感区,所述传感器敏感区设有微热源和温度传感器,所述盖帽上设置流体流道,所述传感器敏感区位于盖帽的流体流道内。本实用新型涉及的热式质量流量传感器封装件,有效提高流量传感器芯片性能的一致性、稳定性及可靠性,并且有效减低封装成本,同时有效提高产品的良率及生产效率。 【专利类型】实用新型 【申请人】美新半导体(无锡)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020550686.9 【申请日】2010-09-30 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201787980U 【公开公告日】2011-04-06 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201787980U 【授权公告日】2011-04-06 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01F1/78; B81B7/00 【发明人】刘海东; 肖素艳; 蒋乐跃 【主权项内容】一种热式质量流量传感器封装件,其特征在于:其包括流量传感器芯片和与流量传感器芯片键合在一起的盖帽,所述流量传感器芯片上设有传感器敏感区,所述传感器敏感区设有微热源和温度传感器,所述盖帽上设置流体流道,所述传感器敏感区位于盖帽的流体流道内。 【当前权利人】新纳传感系统有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91320214718538301Q 【被引证次数】2 【被自引次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】2

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