【摘要】本发明提供了可调节的夹方模具，其结构简单，定位准确，且成本低。其包括底座和模块，所述模块设置有四个，所述四个模块安装于所述底座上，其特征在于：所述四个模块内均设置有筋板，所述四个模块通过外部锁紧圈合模固定。【专利类型】发明申请【申请
【摘要】 一种自对准金属硅化物的形成方法，包括：提供半导体基底，所述半导体基底表面至少有一硅区域；对所述硅区域进行离子注入；去除所述硅区域的自然氧化层；在所述硅区域形成金属层；在所述金属层表面形成保护层；对所述形成有金属层的半导体基底进行退火，形成金属硅化物层。本发明形成的金属硅化物层均匀性好且器件不会出现桥接现象。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010002008.3 【申请日】2010-01-05 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102117744A 【公开公告日】2011-07-06 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102117744B 【授权公告日】2013-04-03 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】H01L21/28; H01L21/768; H01L21/336 【发明人】石永昱; 王栩 【主权项内容】一种自对准金属硅化物的形成方法，其特征在于，包括：提供半导体基底，所述半导体基底表面至少有一硅区域；对所述硅区域进行离子注入；去除所述硅区域的自然氧化层；在所述硅区域形成金属层；在所述金属层表面形成保护层；对形成有金属层的半导体基底进行退火，形成金属硅化物层。 【当前权利人】无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资); 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J; 91320214739444443B 【引证次数】4.0 【被引证次数】7 【他引次数】4.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】7
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