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横向PNP晶体管的制造方法专利

时间:2026-06-22    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 一种横向PNP晶体管的制造方法,包括:提供半导体衬底;向半导体衬底注入离子且扩散,形成N型埋层区域;在N型埋层区域上形成N型外延层;在N型外延层上形成氧化层;刻蚀氧化层和N型外延层,形成发射极开口和集电极开口,其中N型外延层未被刻穿;向发射极开口和集电极开口内填充满P型外延层,形成发射极和集电极;去除氧化层。本发明减少了工艺步骤,节约了工艺时间,进而节省了制造成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010213823.4 【申请日】2010-06-22 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102299070A 【公开公告日】2011-12-28 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L21/331 【发明人】王乐 【主权项内容】一种横向PNP晶体管的制造方法,其特征在于,包括:提供半导体衬底;向半导体衬底注入离子且扩散,形成N型埋层区域;在N型埋层区域上形成N型外延层;在N型外延层上形成氧化层;刻蚀氧化层和N型外延层,形成发射极开口和集电极开口,其中N型外延层未被刻穿;向发射极开口和集电极开口内填充满P型外延层,形成发射极和集电极;去除氧化层。 【当前权利人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号; 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资); 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J; 91320214739444443B 【引证次数】5.0 【被引证次数】2 【他引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】2

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