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一种用于扩散工艺的源瓶专利

时间:2026-06-22    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型提供了一种用于扩散工艺的源瓶,包括一密闭瓶体和设置于所述瓶体顶面的进气管和出气管,所述瓶体底面局部向下凹陷形成一集源槽,所述进气管向瓶体内部延伸至接近所述集源槽的底面。本实用新型的源瓶提高了源利用率,降低了生产成本,并且减少了有毒物质的排放,减轻了对于环境的污染。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020262172.3 【申请日】2010-07-13 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201804844U 【公开公告日】2011-04-20 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201804844U 【授权公告日】2011-04-20 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/00; H01L31/18 【发明人】鲁科; 杨斌 【主权项内容】一种用于扩散工艺的源瓶,包括一密闭瓶体和设置于所述瓶体顶面的进气管和出气管,其特征是所述瓶体底面局部向下凹陷形成一集源槽,所述进气管向瓶体内部延伸至接近所述集源槽的底面。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资) 【统一社会信用代码】9132021372655423XN 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5

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