【摘要】 本实用新型公布了一种晶圆片损伤检测装置，包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。本实用新型对晶圆片的表面进行检测，检测精度高，而且可以同时检测多片晶圆片，检测的效率高。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡春辉科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214024 江苏省无锡市南湖大道789号C幢三楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020622792.3 【申请日】2010-11-25 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201955328U 【公开公告日】2011-08-31 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201955328U 【授权公告日】2011-08-31 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01N29/04; G08C17/02 【发明人】张春华; 张馨月 【主权项内容】一种晶圆片损伤检测装置，其特征在于包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。 【当前权利人】无锡春辉科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市南湖大道789号C幢三楼 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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