【摘要】本发明实施例公开了一种硅片的返工处理方法,包括以下步骤:1、清除掉硅片上的SiNx薄膜;2、采用平板式PECVD装置对硅片重新进行SiNx薄膜沉淀;3、对SiNx薄膜沉淀完成后的硅片进行丝网印刷和烧结,然后进行电性能测试。本发明实施
【摘要】 本实用新型属于工程机械领域,具体是涉及一种非开挖铺管钻机用导正装置。导正装置由导正轮、导轮支架和底座组成,导轮支架一端连接有支起油缸,支起油缸的另一端和底座连接。底座上固定有道轨,导轮支架的另一端置于道轨内并可滑动。导正轮由法兰、耐磨套和滚轮组成,耐磨套安装在二端法兰之间的中心轴位置,耐磨套周围的滚轮通过轴销安装在二端法兰上,耐磨套外壁与滚轮接触并可在滚轮上滚动,导正轮通过法兰固定在导轮支架上端。本装置导轮支架的升降可以带动导正轮上下移动以调整中心,耐磨套能在滚轮上自由滚动减少摩擦。故本装置既能导正、扶正钻杆、减少钻杆与夹持器的摩擦,又能增长夹持器的使用寿命。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡市钻通工程机械有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214151 江苏省无锡市胡埭工业园北区刘塘路 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020518442.2 【申请日】2010-09-03 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201818254U 【公开公告日】2011-05-04 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201818254U 【授权公告日】2011-05-04 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】E21B19/24; E21B7/04 【发明人】齐长缨; 吴晓芳 【主权项内容】一种非开挖铺管钻机用导正装置由导正轮、导轮支架和底座组成,其特征是导轮支架一端连接有支起油缸,支起油缸的另一端和底座连接;底座上固定有道轨,导轮支架的另一端通过其上的滑轨置于道轨内并可滑动;导正轮由法兰、耐磨套和滚轮组成,耐磨套安装在二端法兰之间的中心轴位置,耐磨套周围的滚轮通过轴销安装在二端法兰上,耐磨套外壁与滚轮接触并可在滚轮上滚动,二端法兰由螺栓连接,导正轮通过法兰固定在导轮支架上端。 【当前权利人】无锡市钻通工程机械有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市胡埭工业园北区刘塘路 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】913202117624249777 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族被引证次数】7
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