【摘要】 本发明涉及一种高收率超净高纯氢氟酸的提纯方法，包括以下工艺步骤：将工业无水氟化氢通入氧化处理器一，加入高锰酸钾溶液氧化，再将氧化处理器一中液体通过过滤器一进入氧化处理器二，用过氧化氢溶液氧化，将氧化处理器二中液体通过过滤器二进入精馏塔，氟化氢液体气化生成纯化的氟化氢气体；将出精馏釜的纯化的氟化氢气体通入冷却器进行冷却和过滤；吸收塔内注入去离子水，吸收塔底部设置布气盘管，将出冷却器的氟化氢气体通入吸收塔底部的布气盘管，由上下两侧布气盘管管壁上在布气孔喷出后再由去离子水吸收制成氢氟酸半成品；出吸收塔的氢氟酸半成品通入0.05μm的过滤器后得到超净高纯氢氟酸成品。本发明方法制备的产品纯度高，产量高，符合环保要求。 【专利类型】发明申请 【申请人】江阴市润玛电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园常青北路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201010551506.3 【申请日】2010-11-20 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102009957A 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【发明人】戈士勇 【主权项内容】一种高收率超净高纯氢氟酸的提纯方法，其特征在于该方法的主要工艺如下：步骤一、预处理将工业无水氟化氢通入氧化处理器一，用氮气置换氧化处理器一中的空气，控制氧化处理器一内压力≤0.1Mpa，然后加入高锰酸钾溶液，搅拌10分钟±5分钟，静止20分钟±5分钟，再将氧化处理器一中液体通过过滤器一进入氧化处理器二，在氧化处理器二中加入占工业无水氟化氢加量的0.16‑1重量%的过氧化氢溶液，搅拌10分钟±5分钟，静止20分钟±5分钟； 步骤二、精馏将氧化处理器二中液体通过过滤器二进入精馏塔，升温至60‑80℃，氟化氢液体气化生成纯化的氟化氢气体；步骤三、冷却过滤将出精馏釜的纯化的氟化氢气体通入冷却器进行冷却并过滤，冷却器底部布满聚四氟乙烯填料，对氟化氢气体进行过滤，通过降温把已经纯化后的氟化氢气体转换成气液相临界状态，使其中还存有的少量杂质进行分离，杂质部分回流至精馏釜，经冷却过滤得再次纯化的氟化氢气体进入吸收塔；步骤四、吸收吸收塔内注入去离子水，吸收塔底部设置布气盘管，气盘管为上下两层，将二次纯化后的氟化氢气体通入吸收塔底部的上下两层布气盘管，由布气盘管管壁上的布气孔释放出来后再由去离子水吸收制成氢氟酸半成品；步骤五、过滤出吸收塔的氢氟酸半成品通入0.05‑0.2μm的过滤器过滤后得到超净高纯氢氟酸成品。 【当前权利人】江阴市润玛电子材料有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园常青北路1号 【被引证次数】10 【被他引次数】10.0 【家族被引证次数】10

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