【摘要】 本实用新型涉及一种单晶炉热场排气装置，属于单晶硅的生产制造设备领域。它包括炉体(1)，所述炉体(1)内设置有保温筒(3)，炉体(1)与保温筒(3)之间设置有保温毡(2)，所述保温筒(3)内设置有加热器(4)，加热器(4)通过电极螺栓(8)固定在炉体(1)底部，并与炉体(1)底部的加热电极(6)相连接，加热器(4)中央设置有坩埚轴(7)，坩埚轴(7)上端设置有坩埚托盘(9)，下端穿出炉体(1)底部，坩埚托盘(9)内设置有石墨坩埚(10)，石墨坩埚(10)内设置有石英坩埚(11)，石英坩埚(11)内用于放置多晶料(14)，石英坩埚(11)上方设置有导流筒(12)，所述保温筒(3)顶部设置有与导流筒(12)相连接的保温盖(13)，所述炉体(1)下部设置有真空抽口(5)，所述真空抽口(5)穿过炉体(1)、保温毡(2)和保温筒(3)与保温筒(3)内腔相连通。 【专利类型】实用新型 【申请人】江阴市华英光伏科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214444 江苏省无锡市江阴市临港新城利港滨江西路1018号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201020666408.X 【申请日】2010-12-18 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201908153U 【公开公告日】2011-07-27 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201908153U 【授权公告日】2011-07-27 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C30B15/00 【发明人】査建洪; 施宇峰; 査如德 【主权项内容】一种单晶炉热场排气装置，它包括炉体(1)，所述炉体(1)内设置有保温筒(3)，炉体(1)与保温筒(3)之间设置有保温毡(2)，所述保温筒(3)内设置有加热器(4)，加热器(4)通过电极螺栓(8)固定在炉体(1)底部，并与炉体(1)底部的加热电极(6)相连接，加热器(4)中央设置有坩埚轴(7)，坩埚轴(7)上端设置有坩埚托盘(9)，下端穿出炉体(1)底部，坩埚托盘(9)内设置有石墨坩埚(10)，石墨坩埚(10)内设置有石英坩埚(11)，石英坩埚(11)内用于放置多晶料(14)，石英坩埚(11)上方设置有导流筒(12)，所述保温筒(3)顶部设置有与导流筒(12)相连接的保温盖(13)，其特征在于：所述炉体(1)下部设置有真空抽口(5)，所述真空抽口(5)穿过炉体(1)、保温毡(2)和保温筒(3)与保温筒(3)内腔相连通。 【当前权利人】江阴市华英光伏科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市临港新城利港滨江西路1018号 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族被引证次数】7

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