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单晶制绒片架压条装置专利

时间:2026-06-18    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型提供了一种单晶制绒片架压条装置,包括:第一压条;第二压条,与第一压条相互平行;第三压条,一端连接在第一压条的中点区域,另一端连接在第二压条的中点区域;所述第三压条中设置有通孔。本实用新型实施例提供的单晶制绒片架压条装置中,在压条中设置了通孔,通孔能够疏导压条处制绒液的流动,使压条处制绒液的流动与周边区域相同,进而使硅片压条处的腐蚀速率与其它区域相同,避免了硅片上压条印的形成,进而解决了硅片在PECVD制程中产生色斑的缺陷。 【专利类型】实用新型 【申请人】江阴浚鑫科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214443 江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201020603171.0 【申请日】2010-11-11 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201887061U 【公开公告日】2011-06-29 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201887061U 【授权公告日】2011-06-29 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; C30B33/10 【发明人】李建飞; 祝耀华; 于海娇; 王守志; 李扬 【主权项内容】一种单晶制绒片架压条装置,其特征在于,包括:第一压条;第二压条,与第一压条相互平行;第三压条,一端连接在第一压条的中点区域,另一端连接在第二压条的中点区域;所述第三压条中设置有通孔。 【当前权利人】中建材浚鑫科技股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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