【摘要】 本实用新型涉及一种密闭式单晶炉热场系统，属于单晶硅的生产制造设备领域。它包括保温筒(4)，保温筒(4)设置于炉体(1)的内腔，所述保温筒(4)内腔设置有加热器(10)，加热器(10)通过电极螺栓(14)固定在炉体(1)的底盘上，并与炉体(1)底部的加热电极(8)相连接，所述加热器(10)的内腔中央设置有中轴(7)，所述中轴(7)上端设置有坩埚托盘(6)，下端穿出炉体(1)底部，坩埚托盘(6)上设置有石墨坩埚(5)，石墨坩埚(5)内设置有石英坩埚(9)，石英坩埚(9)内用于放置多晶料(15)，其特征在于：保温筒(4)与炉体(1)的炉壁之间设置有保温罩(11)，炉体内腔上部设置有倒梯形的热屏，热屏由热屏内层(2)、热屏外层(3)和设置于热屏内层(2)和热屏外层(3)之间的保温层(13)组成，保温筒(4)顶部设置有与热屏相连接保温盖(12)。 【专利类型】实用新型 【申请人】江阴市华英光伏科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214444 江苏省无锡市江阴市临港新城利港滨江西路1018号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201020653407.1 【申请日】2010-12-11 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201901727U 【公开公告日】2011-07-20 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201901727U 【授权公告日】2011-07-20 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C30B15/14 【发明人】査建洪; 施宇峰; 査如德 【主权项内容】一种密闭式单晶炉热场系统，它包括保温筒(4)，保温筒(4)设置于炉体(1)的内腔，所述保温筒(4)内腔设置有加热器(10)，加热器(10)通过电极螺栓(14)固定在炉体(1)的底盘上，并与炉体(1)底部的加热电极(8)相连接，所述加热器(10)的内腔中央设置有中轴(7)，所述中轴(7)上端设置有坩埚托盘(6)，下端穿出炉体(1)底部，坩埚托盘(6)上设置有石墨坩埚(5)，石墨坩埚(5)内设置有石英坩埚(9)，石英坩埚(9)内用于放置多晶料(15)，其特征在于：保温筒(4)与炉体(1)的炉壁之间设置有保温罩(11)，炉体内腔上部设置有倒梯形的热屏，热屏由热屏内层(2)、热屏外层(3)和设置于热屏内层(2)和热屏外层(3)之间的保温层(13)组成，保温筒(4)顶部设置有与热屏相连接保温盖(12)。 【当前权利人】江阴市华英光伏科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市临港新城利港滨江西路1018号 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4

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