【摘要】 本实用新型涉及一种“西门子”法制备多晶硅还原尾气回收系统，特征是：在尾气-淋洗气热交换器上设有尾气入口、尾气出口、尾液出口、冷却气入口和冷却气出口；在鼓泡淋洗塔的上端设有淋洗液入口、淋洗尾气入口、冷却尾气出口和淋洗液出口；尾气入口与尾气储罐连接，尾气出口与淋洗尾气入口连接，冷却气入口与冷却尾气出口连接，冷却气出口与氢压机连接，氢压机与压缩气-吸收气热交换器顶部的气体入口连接，尾液出口、淋洗液出口和压缩气-吸收气热交换器底部的液体出口与氯硅烷储罐连接，氯硅烷储罐与氯硅烷屏蔽泵连接，氯硅烷屏蔽泵与氯硅烷过冷器液体入口连接，氯硅烷过冷器液体出口利用管道与淋洗液入口连接。本实用新型实现了低成本、低能耗、高效率。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡中彩科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214183 江苏省无锡市惠山区玉祁镇工业集中区 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】惠山区 【申请号】CN201020236525.2 【申请日】2010-06-24 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201746333U 【公开公告日】2011-02-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201746333U 【授权公告日】2011-02-16 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C01B33/03 【发明人】周大荣 【主权项内容】 。一种西门子法制备多晶硅还原尾气回收系统，包括尾气‑淋洗气热交换器(2)、鼓泡淋洗塔(6)和氯硅烷过冷器(5)，其特征是：在所述尾气‑淋洗气热交换器(2)的顶端设有尾气入口(2.1)和尾气出口(2.2)，在尾气‑淋洗气热交换器(2)的底部设有尾液出口(2.3)，在尾气‑淋洗气热交换器(2)侧面的上端设有冷却气入口(2.4)，在尾气‑淋洗气热交换器(2)侧面的下端设有冷却气出口(2.5)；在所述鼓泡淋洗塔(6)的上端设有淋洗液入口(6.1)，在所述鼓泡淋洗塔(6)的下端设有淋洗尾气入口(6.2)，在所述鼓泡淋洗塔(6)的顶部设有冷却尾气出口(6.4)，在所述鼓泡淋洗塔(6)的底部设有淋洗液出口(6.3)；所述尾气入口(2.1)与尾气储罐(1)的输出端利用管道连接，所述尾气出口(2.2)利用管道与淋洗尾气入口(6.2)连接，所述冷却气入口(2.4)利用管道与冷却尾气出口(6.4)连接，所述冷却气出口(2.5)与氢压机(7)的输入端通过管道连接，氢压机(7)的输出端与设在压缩器‑吸收气热交换器(8)顶部的气体入口(8.1)连接，所述尾液出口(2.3)、淋洗液出口(6.3)和压缩器‑吸收气热交换器(8)底部的液体出口(8.2)均与氯硅烷储罐(3)的输入端连接，冷却后的液体由(8.3)流出，氯硅烷储罐(3)的输出端与氯硅烷屏蔽泵(4)的输入端连接，氯硅烷屏蔽泵(4)的输出端与氯硅烷液体入口(5.1)利用管道连接，氯硅烷液体出口(5.2)利用管道与淋洗液入口(6.1)连接。 【当前权利人】无锡中彩科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市惠山区玉祁镇工业集中区 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】913202007945758411 【引证次数】3.0 【被引证次数】7 【他引次数】3.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】7

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