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一种可加强石英坩埚清洗能力的装置专利

时间:2026-06-14    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型公开了一种可加强石英坩埚清洗能力的装置,包括支撑模块一、支撑模块二、配合件、组合喷淋头和支撑爪,所述支撑模块一和支撑模块二围绕组合喷淋头设置,支撑模块一和支撑模块二之间通过配合件连接,支撑模块一和支撑模块二上分别安装有支撑爪,支撑爪上设置有凹槽。本实用新型承载石英坩埚的支撑模块选用无毒环保、耐磨、弹性较好的BPU材料制成,具有良好的防撞性能,可减小石英坩埚与支撑模块相接触形成的后天应力,而且通过两组支撑模块的上下位置互换,可在清洗过程中实现升降切换,彻底消除整个系统的清洗死角。。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州华尔光电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225600 江苏省高邮市经济开发区长江路科技创新中心 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】高邮市 【申请号】CN201020534695.9 【申请日】2010-09-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201842775U 【公开公告日】2011-05-25 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201842775U 【授权公告日】2011-05-25 【授权公告年份】2011.0 【发明人】杨业林; 陈宝昌 【主权项内容】一种可加强石英坩埚清洗能力的装置,其特征在于:包括支撑模块一(1)、支撑模块二(2)、配合件(3)、组合喷淋头(4)和支撑爪(5),所述支撑模块一(1)和支撑模块二(2)围绕组合喷淋头(4)设置,支撑模块一(1)和支撑模块二(2)之间通过配合件(3)连接,支撑模块一(1)和支撑模块二(2)上分别安装有支撑爪(5),支撑爪(5)上设置有凹槽。 【当前权利人】江苏华尔石英材料股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市高邮经济开发区长江路

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