【摘要】沉积石英舟涉及SIPOS膜加工专用的石英舟。能确保相邻晶片之间不接触。石英舟包括左上梁、右上梁和至少一根底梁,左上梁、右上梁和底梁的轴心分布在同一圆周线上,且左上梁、右上梁和底梁朝向圆周线圆心方向均布有若干凹槽,右上梁位于圆周线的0
【摘要】 本珩磨头涉及涨孔式内圆珩磨头的改进。各油石在“扩径”时同步性好,且扩径后整体圆柱度高。包括若干条状的油石、驱动各油石运动的推杆机构、安置推杆机构的磨头盘、驱动磨头盘转动的转筒、设在转筒内且设有中孔的斜楔套和设在斜楔套中孔内用以驱动其轴向运动的芯轴装置;斜楔套的外表面设有锥度及朝向一致、且同轴心的锥面一和锥面二;推杆机构中包括推杆座、推杆复位弹簧和推杆;所述推杆座分别沿磨头盘的径向均布在磨头盘的两端面上;推杆设在推杆座内,所述推杆复位弹簧套设在推杆外;所述推杆朝向轴心的一端伸入所述的斜楔套内,其端面设有与所述斜楔套上的锥面一和锥面二相适配的斜面;所述推杆朝向磨头盘外侧的一端固定连接所述油石。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州冶金机械有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225009 江苏省扬州市江阳东路205号 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请人区县】广陵区 【申请号】CN201020139829.7 【申请日】2010-03-23 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201693443U 【公开公告日】2011-01-05 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201693443U 【授权公告日】2011-01-05 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B24B33/02 【发明人】李波; 李相娟; 王晨 【主权项内容】珩磨头,包括若干条状的油石、驱动各油石运动的推杆机构、安置推杆机构的磨头盘、驱动磨头盘转动的转筒、设在转筒内且设有中孔的斜楔套和设在斜楔套中孔内用以驱动其轴向运动的芯轴装置;其特征在于,所述斜楔套的外表面设有锥度及朝向一致、且同轴心的锥面一和锥面二;所述推杆机构中包括推杆座、推杆复位弹簧和推杆;所述推杆座分别沿磨头盘的径向均布在磨头盘的两端面上;所述推杆设在推杆座内,所述推杆复位弹簧套设在推杆外;所述推杆朝向轴心的一端伸入所述的斜楔套内,其端面设有与所述斜楔套上的锥面一和锥面二相适配的斜面;所述推杆朝向磨头盘外侧的一端固定连接所述油石。 【当前权利人】扬州冶金机械有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市江阳东路205号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91321000140710629R 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4
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