【摘要】螺旋式舒适藤椅，它涉及一种藤椅。它由四脚支架(1)、螺旋一体式椅身(2)、坐面(3)和躺靠面(4)组成，四脚支架(1)的中心与螺旋一体式椅身(2)的底部相连，螺旋一体式椅身(2)上端平面上设置有上坐面(3)，螺旋一体式椅身(2)上端
【摘要】 沉积石英舟涉及SIPOS膜加工专用的石英舟。能确保相邻晶片之间不接触。石英舟包括左上梁、右上梁和至少一根底梁，左上梁、右上梁和底梁的轴心分布在同一圆周线上，且左上梁、右上梁和底梁朝向圆周线圆心方向均布有若干凹槽，右上梁位于圆周线的0～-5°范围之间，左上梁位于圆周线的180-185°范围之间。本实用新型相对于现有技术，提高了原有SIPOS石英舟两边固定晶片的上梁高度，使之上移，这样能更好的定位晶片，使晶片不易翘曲，造成相互接触。这样就能有效的避免因SIPOS沉积时由于晶片翘曲严重使沉积时气体沉积速率发生变化而导致膜厚不均匀，进而提高保证SIPOS沉积时膜的均匀度。 【专利类型】实用新型 【申请人】扬州杰利半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请号】CN201020536551.7 【申请日】2010-09-19 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201793734U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201793734U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【发明人】邵伟祥; 裘立强 【主权项内容】沉积石英舟，所述石英舟包括左上梁、右上梁和至少一根底梁，左上梁、右上梁和底梁的轴心分布在同一圆周线上，且左上梁、右上梁和底梁朝向圆周线圆心方向均布有若干凹槽，其特征在于，所述右上梁位于所述圆周线的0～‑5°范围之间，所述左上梁位于所述圆周线的180‑185°范围之间。 【当前权利人】扬州杰利半导体有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91321003689176902H 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1
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