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新型多晶硅还原炉用硅芯夹持装置专利

时间:2026-06-12    作者:admin 点击: ( 1 ) 次

【摘要】 本实用新型提供了一种新型多晶硅还原炉用硅芯夹持装置,该装置包括有螺帽,卡瓣和底座,所述底座的凹槽卡在电极上并与电极紧密结合,卡瓣夹持硅芯置于底座上,螺帽套在底座上并通过螺纹旋紧固定卡瓣夹紧硅芯,其特征在于卡瓣和/或螺帽表面涂有涂层。本实用新型有效地解决了还原炉用硅芯夹持装置带来的碳污染问题,提升了多晶硅产品的品质。 【专利类型】实用新型 【申请人】江苏中能硅业科技发展有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号 【申请人地区】中国 【申请人城市】徐州市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201020218924.6 【申请日】2010-06-08 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201793374U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201793374U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C01B33/03 【发明人】钟真武; 陈文龙 【主权项内容】一种新型多晶硅还原炉用硅芯夹持装置,该装置包括有螺帽,卡瓣和底座,所述底座的凹槽卡在电极上并与电极紧密结合,所述卡瓣夹持硅芯置于底座上,所述螺帽套在底座上并通过螺纹旋紧固定卡瓣夹紧硅芯,其特征在于所述卡瓣和/或所述螺帽的表面涂有涂层。 【当前权利人】江苏鑫华半导体材料科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳合资) 【统一社会信用代码】913203017849976109 【引证次数】1.0 【被引证次数】10 【他引次数】1.0 【被他引次数】10.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】10

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