【摘要】 本实用新型公开了一种用于生产多晶硅的还原炉，包括底盘以及安装在底盘上的钟罩式炉筒，所述钟罩式炉筒内设有硅芯及连接相邻硅芯的横梁，所述硅芯通过硅芯底座与底盘固定连接，所述底盘上设有原料气进口和尾气出口，其特征在于部分所述原料气进口采用竖管引至炉顶进气，且所述竖管的出口位置与硅芯横梁平齐或略高。本实用新型在保证产量的前提下，通过提高顶部含硅原料气体浓度并增加顶部的湍流效果，将一部分原料气体由底盘进料口通过靠近炉筒内壁的进气管引至与横梁等高处进气，降低硅棒顶部区域温度，以改善硅棒顶部，得到高质量的多晶硅产品，改善了硅棒顶部表面形貌，提高产品质量。 【专利类型】实用新型 【申请人】江苏中能硅业科技发展有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号 【申请人地区】中国 【申请人城市】徐州市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201020218927.X 【申请日】2010-06-08 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201793375U 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201793375U 【授权公告日】2011-04-13 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C01B33/03; C30B29/06 【发明人】钟真武; 陈涵斌 【主权项内容】一种用于生产多晶硅的还原炉，包括底盘(2)以及安装在底盘上的钟罩式炉筒(1)，所述钟罩式炉筒(1)内设有硅芯(8)及连接相邻硅芯的横梁(4)，所述硅芯(8)通过硅芯底座(3)与底盘(2)固定连接，所述底盘(2)设有原料气进口(5)和尾气出口(7)，其特征在于，部分所述原料气进口采用竖管(6)引至炉顶进气，且所述竖管的出口(601)位置与硅芯横梁平齐或略高。。 【当前权利人】江苏鑫华半导体材料科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳合资) 【统一社会信用代码】913203017849976109 【被引证次数】9 【被他引次数】9.0 【家族被引证次数】9

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