【摘要】 一种表面结构化复合涂层制备装置，适用于表面结构化复合涂层制备，是一种紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，它包括紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置包括脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块，脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块顺序连接。采用一个激光光源可同时实现材料表面的结构化处理和复合涂层的沉积，结构简单、易于控制，单次扫描即可，无需对制备的样品进行复杂的后处理工艺；应用范围广、紫外脉冲激光具有光子能量大、波长短的特点，可以对任何材料进行精密的表面结构化处理，同时可以诱导多种气体的化学反应，高效的进行复合涂层沉积。 【专利类型】实用新型 【申请人】中国矿业大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】221116 江苏省徐州市南三环路中国矿业大学科技处 【申请人地区】中国 【申请人城市】徐州市 【申请人区县】铜山区 【申请号】CN201020200277.6 【申请日】2010-05-18 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201833114U 【公开公告日】2011-05-18 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201833114U 【授权公告日】2011-05-18 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B23K26/00; B23K26/36; C23C16/48; B23K26/352 【发明人】杨海峰; 王延庆; 韩正铜; 王庆良; 李宝林 【主权项内容】一种表面结构化复合涂层制备装置，其特征是：它包括紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置，紫外脉冲激光多功能表面处理系统装置包括脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块，脉冲激光模块、精密扫描模块和环境调控模块顺序连接。。 【当前权利人】中国矿业大学 【当前专利权人地址】江苏省徐州市南三环路中国矿业大学科技处 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】12100000466007570L 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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