【摘要】本发明公开一种离子植入的在线检测方法，通过利用后继氧化制程所生成的SiO2氧化层厚度同本底杂质的对应关系，借助于一般厚度量测机台，对经过离子植入和氧化制程的测试样片进行薄膜厚度量测，可得出离子植入所达到的植入离子浓度，轻易的实现在线
【摘要】 本实用新型揭示了一种谐波治理装置，包括：输入端；主开关装置，连接至所述输入端；电抗器，连接至所述主开关装置；过载保护装置，连接至所述电抗器；过流保护装置，连接至所述过载保护装置；输出端，连接至所述过流保护装置。本实用新型所揭示的谐波治理装置，能有效地滤除谐波，且安全性能高，成本低廉。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州新燎原机械有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213000 江苏省常州市钟楼区西林工业园 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】钟楼区 【申请号】CN201020525796.X 【申请日】2010-09-13 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201781282U 【公开公告日】2011-03-30 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201781282U 【授权公告日】2011-03-30 【授权公告年份】2011.0 【发明人】杜春松 【主权项内容】一种谐波治理装置，其特征在于，包括：输入端，用于输入电流；主开关装置，连接至所述输入端，用于控制电流的输入与输出；电抗器，连接至所述主开关装置，在电路中起到阻抗作用；过载保护装置，连接至所述电抗器，当流经的电流超过了安全载流量，所述过载保护装置自动断电，以保护设备；过流保护装置，连接至所述过载保护装置，当流经的电流超过设定电流的时候，所述过流保护装置自动断电，以保护设备；输出端，连接至所述过流保护装置，用于输出电流。 【当前权利人】常州新燎原机械有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市钟楼区西林工业园 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320400786314529G
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