【摘要】一种刻蚀设备和氮化硅的刻蚀方法,其中氮化硅的刻蚀方法包括:提供衬底,所述衬底表面依次形成有氧化硅层和氮化硅层;在所述氮化硅层表面形成光刻胶图形;以所述光刻胶图形为掩膜,刻蚀所述氮化硅直至暴露出氧化硅层,所述刻蚀工艺采用的腔室去除聚焦
【摘要】 本实用新型公开了一种车辆座椅回转调节装置,包括与座椅本体相连的转盘、位于转盘下方的安装板,转盘与安装板之间设有小齿轮和与小齿轮啮合的大齿轮,大齿轮与转盘固定并可转动设置在安装板的上侧面上,安装板下侧面固定有电机,电机通过传动轴与小齿轮传动连接。本实用新型通过齿轮传动带动转盘平面转动来实现车辆座椅在同一个平面内任意角度的回转调节,从而解决了目前车辆座椅所用回转调节装置使用性能相对不稳定、操作灵活性较差、承载力偏小及使用寿命较短的问题。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州昊邦汽车零部件有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213012 江苏省常州市钟楼区龙城大道2219号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】钟楼区 【申请号】CN201020610782.8 【申请日】2010-11-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201863734U 【公开公告日】2011-06-15 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201863734U 【授权公告日】2011-06-15 【授权公告年份】2011.0 【发明人】许小平 【主权项内容】一种车辆座椅回转调节装置,包括与座椅本体相连的转盘(1)、位于转盘(1)下方的安装板(2),其特征是:转盘(1)与安装板(2)之间设有小齿轮(3)和与小齿轮(3)啮合的大齿轮(4),大齿轮(4)与转盘(1)固定并可转动设置在安装板(2)的上侧面上,安装板(2)下侧面固定有电机(5),电机(5)通过传动轴(6)与小齿轮(3)传动连接。。 【当前权利人】常州昊邦汽车零部件有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市钟楼区龙城大道2219号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320400745572329U 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4
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