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一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒专利

时间:2026-06-08    作者:admin 点击: ( 9 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒,包括导流筒本体,导流筒本体为上大下小的锥形筒状结构,导流筒本体的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽。本发明直拉式硅单晶生长炉用导流筒结构简单,设计合理,使用安全,能有效提高硅单晶的生长效率,可广泛适用于直拉式硅单晶生长设备中。 : 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省苏州市金坛市华城路318号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010565419.3 【申请日】2010-11-30 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102011175A 【公开公告日】2011-04-13 【公开公告年份】2011 【发明人】李留臣 【主权项内容】一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒,其特征在于,包括导流筒本体(1),所述导流筒本体(1)为上大下小的锥形筒状结构,所述导流筒本体(1)的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽(2)。 【当前权利人】江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市金坛市华城路318号 【专利权人类型】股份有限公司 【统一社会信用代码】913204007337667089 【被引证次数】6 【被他引次数】6.0 【家族被引证次数】6

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