【摘要】 -官网 一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，包括夹具体、立柱螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在两根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺杆上，并由收紧螺母收紧，收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。由于整叠硅片放置在夹具体和压板之间，而压板由两只收紧螺母通过数控扭力扳手进行定扭矩收紧，从而实现压板对整叠硅片的定压施压。这样就能精确控制整叠硅片的压力，并可减少硅片四周受力的不均，使产品性能一致，刻蚀效果好。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州亿晶光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】金坛区 【申请号】CN201010562013.X 【申请日】2010-11-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102082064A 【公开公告日】2011-06-01 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01J37/32; H01L31/18 【发明人】宋佳 【主权项内容】一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是：包括夹具体(1)、立柱螺杆(2)、复位弹簧(3)、压板(4)、收紧螺母(5)和数控扭力扳手(6)，两根立柱螺杆(2)的下端固定在夹具体(1)上，在两根立柱螺杆(2)的上段设有螺纹，复位弹簧(3)套装在立柱螺杆(2)的上段，压板(4)套装在两根立柱螺杆(2)上，并由收紧螺母(5)收紧，收紧螺母(5)由数控扭力扳手(6)定扭矩收紧。 【当前权利人】常州亿晶光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省金坛市尧塘镇金武路18号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320413748721887W 【引证次数】5.0 【被引证次数】7 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】7

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